극자외선노광기1 반도체 공정의 필수 장비, 노광장비의 역할과 종류 반도체 공정의 필수 장비, 노광장비의 역할과 종류 반도체 제조 공정은 고도로 정밀하고 복잡한 과정으로, 여러 단계에 걸쳐 이루어집니다. 그중에서도 노광장비는 반도체 칩의 패턴을 웨이퍼에 전사하는 중요한 역할을 담당합니다. 이 글에서는 노광장비의 역할과 다양한 종류에 대해 자세히 살펴보겠습니다. 노광장비의 역할 노광장비는 반도체 회로 설계의 중요한 패턴을 웨이퍼에 구현하는 장비입니다. 이 과정은 *리소그래피(lithography)*라고 하며, 전자 회로가 빛을 통해 웨이퍼에 전사되는 과정을 포함합니다. 노광 공정은 반도체 칩의 해상도와 성능을 결정짓는 핵심 단계입니다. 1. 회로 패턴 전사의 핵심 기술 리소그래피 공정은 웨이퍼에 얇게 코팅된 감광성 물질인 포토레지스트 위에 빛을 쏘아주어 특정 회로 패턴을 .. 2024. 11. 10. 이전 1 다음